Mipox의 SAW 필터 연마란 무엇인가? 고정밀 × 연마 공정 혁신 기술에 다가가다

SAW필터

Mipox는 자체 제작한 연마 필름·슬러리 및 엣지 폴리셔 장치를 활용해 SAW 필터 용도를 비롯한 접합 웨이퍼(POI 기판 등 압전 기판과의 접합 기판) 가공 서비스를 제공하고 있습니다.

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SAW필터는？

SAW(Surface Acoustic Wave) 필터는 압전 기판 위에서 표면 탄성파를 발생시켜, 이를 통해 특정 주파수를 통과시키는 고정밀 주파수 제어를 수행하는 반도체 소자입니다. 휴대전화, 무선 통신 기기, 5G/6G 지원 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있으며, 높은 신뢰성과 선택성이 요구됩니다. 따라서 기판의 평활성 및 두께 제어 정밀도는 매우 중요합니다.

고정밀 가공 체계의 특징

극초박 두께 제어: SAW 용도에서 요구되는 ±0.1μm 이내(연삭 및 CMP 가공)의 두께 공차를 구현. 고정밀 엣지 연마: 접합 기판의 파손 및 균열을 방지하고, 후공정의 품질 안정과 수율 향상에 기여. 고 TTV화 대응 연마: LiTaO₃, LiNbO₃, SiC, GaN, 사파이어, 석영 및 기타 복합재료 등에 적용 가능한 고평탄 가공. 원스톱 체제: 연마 전후의 품질 평가·표면 측정·세척 대응 등 전 과정을 포괄하는 지원 체계를 구축.

SAW 필터 연마 적용 대상과 장점

대응 재료·형상

압전 기판(LiTaO₃, LiNbO₃) 다양한 지지 기판에 대응합니다(Si, 석영, SiC, GaN 및 화합물 기판·합성 결정) TC‑SAW, POI 등 중간층(SiO₂ 막, Si 막의 증착, 접합면의 표면 상태 제어)에도 유연하게 대응 SAW 구조 형성에 영향을 주는 표면 평탄성·엣지 품질에서 높은 정밀도가 요구되는 기판

장점

주파수 특성 최적화: 표면의 요철을 평탄하게 하고 두께 정밀도를 높여 파동 전파 특성을 개선해 성능을 극대화. 제품 신뢰성 향상: 에지 파손 방지를 통해 기계적 강도와 후공정의 안정성을 확보. 수율 개선: 균일한 면 정밀도로 불량률을 낮추고 생산 효율을 향상시킴.

독자적인 기술과 수탁 가공 체계

Mipox는 창업 이래 축적해 온 연마 필름·슬러리 제조 기술, 연마 장비 설계 역량, 그리고 공정 개발 역량을 결합해 연구개발 단계부터 양산 대응까지 일관된 원스톱 가공 체계를 구축하고 있습니다.

서비스 흐름

재료 및 구조에 대한 상담·사양 확인 견적·공정 제안 시제품·공정 평가 결과 보고서 제공

SAW 필터 용도에서의 도입 효과

두께 정밀도 ±0.1μm의 고정밀 두께 관리로 수율 향상 표면 거칠기 Ra 1nm 이하 이를 통해 접합 품질을 향상시키고 엣지 처리를 통한 칩핑 및 파손 위험 억제 SAW 필터용 접합 기판에 특화된 시제품 체계(접합·연삭/연마·에지 처리)로 신속 대응

정리

Mipox주식회사의 수탁 연마 가공 서비스는 SAW 필터 용도 등 고정밀이 요구되는 복합 기판 가공에 대해 고정밀·고품질·다양한 소재 대응·원스톱 체계를 제공할 수 있는 드문 솔루션입니다. 특히 접합 가공 및 박막 두께 제어, 표면 평활화에 강점을 가지고 있어 차세대 통신 디바이스 제조에서 품질 향상과 수율 개선에 기여합니다.

관심이 있는 기업 고객께는 샘플 테스트, 기술 상담, 견적 대응도 제공하고 있으니 언제든지 문의해 주세요.

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출처:https://www.mipox.co.jp/media/archives/278